45nm以上节点关键工艺，应用材料收购芬兰ALD技术先驱Picosun

晶圆制造设备巨头Applied Materials收购了芬兰原子层沉积技术的先驱Picosun，其ALD技术被用于从逻辑和存储器到LED，MEMS器件和功率芯片的芯片制造该公司迄今已融资1740万美元，但未随申请材料披露交易金额

据eeNews报道，ALD已经成为制造逻辑器件的关键技术自从45nm第一次用于商业制造以来，对ALD的依赖已经扩展到今天的10nm节点甚至更远22纳米节点通常具有10+ ALD台阶，而10纳米节点具有大约70个ALD台阶，用于高K电介质，例如HfOx和AlOx，栅极金属层，例如TiN和TaN，蚀刻停止层，隔离物和隔离物，例如SiOx和SiNx

Picosun预计将成为ICAPS集团的一部分，ICAPS集团提供材料工程系统Picosun还拥有强大的R&D能力和优秀的团队，并与世界各地的领先研究机构和大学建立了牢固的关系

材料公司总裁兼首席执行官Gary Dickerson表示:Picosun是ALD技术的先驱，其产品服务于快速增长的专业铸造逻辑市场Picosun的加入补充了应用材料的技术组合，并扩大了我们加快客户路线图的机会

材料集团副总裁兼ICAPS集团总经理Sundar Ramamurthy表示:互联设备数量的快速增长推动了对连接模拟和数字世界的芯片创新的巨大需求将Picosun的人才团队引入应用材料公司将加强我们的能力，帮助客户为各种边缘计算设备添加更多智能和功能

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